HOHAGE Schichttechnologie

Leistungsspektrum

Für die Herstellung von Schichten mit den Hauptkomponenten Si, SiO2, SiN, SiCN, SiON, C, BN, GaAs wird für CVD/PECVD-Verfahren Ingenieur-Dienstleistung angeboten in Form von:

• Prozesscharakterisierung (DOE)
• Prozessoptimierung: z.B. Uniformity, Durchsatz
• Weiterentwicklung: z.B. Haftung, Defekte
• Schicht-Stressengineering
• Vorschläge zu Hardwareanpassungen
• Beratung zu schichttechnologischen Fragen

Für die Synthese von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten und Bornitridschichten mittels gepulster Laserstrahlung (PLD) werden vergleichbare Entwicklungsarbeiten angeboten.

Zuletzt ausgeführte Tätigkeiten, Projekte:

• Beratung zu PECVD-Beschichtungsproblemen
• Entwicklung von PECVD-Beschichtungsprozessen zur Vergütung von Display-Gläsern
• Überblick über CVD-Beschichtungstechnologien zur Herstellung diamantähnlicher Schichten