HOHAGE Schichttechnologie

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Publikationen

(jeweils Hauptautor)

Synthese von Bornitridschichten mittels gepulster Laserstrahlung (PLD) und Modellierung der Bildung des diamantähnlichen, kubischen Bornitrids:

Effect of stored elastic energy on phase content of ion assisted deposited boron nitride films,
J. Hohage, W. Pompe, Thin Solid Films, 515 (2006) 1767.

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Entwicklung von Kupfer-Deckschicht-Interfaces mit hoher Zuverlässigkeit für hochintegrierte Schaltkreise:

A copper-dielectric cap interface with high resistance to electromigration for high performance semiconductor devices,
J. Hohage, M.U. Lehr, V. Kahlert, Microelectron. Eng. 86 (2009) 408.

Copper-dielectric cap interface with enhanced reliability for 45 nm technology and beyond,
J. Hohage, U. Mayer, M.U. Lehr, F. Feustel, O. Aubel, C. Hennesthal,
Microelectron. Eng. 87 (2010) 2119.